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Comparison of optical and chemical properties of thermally evaporated and spin-coated chalcogenide As S thin films targeting electron beam lithography applications

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作者

Karel Pálka,Jiří Jančálek,Stanislav Šlang,Marina Grinco,Miroslav Vlček

出处

期刊：Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier BV]
日期：2019-01-28 卷期号：508: 7-14 被引量：17

链接

handle.netdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.jnoncrysol.2018.12.012

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