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Implementation and experiment of an active vibration reduction strategy for macro-micro positioning system

振动 还原（数学） 宏 沉降时间 波形 压电 控制理论（社会学） 计算机科学 声学 工程类 电压 控制工程 阶跃响应 物理 电气工程 数学 几何学 人工智能 程序设计语言 控制（管理）
作者
Lanyu Zhang,Jian Gao,Xin Chen,Yun Chen,Yunbo He,Yu Zhang,Hui Tang,Zhijun Yang
出处
期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
日期：2017-09-06 卷期号：51: 319-330 被引量：26
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2017.09.002
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