HfO2:Y2O3 ultrathin nanolaminate structures grown by ALD: Bilayer thickness and annealing temperature effects on optical properties

材料科学 双层 退火(玻璃) 折射率 椭圆偏振法 带隙 电介质 薄脆饼 原子层沉积 硅 光电子学 薄膜 分析化学(期刊) 纳米技术 复合材料 膜 色谱法 遗传学 生物 化学
作者
J. López,Jorge Luis Vázquez Arce,P. Pizá-Ruíz,N. Nedev,M.H. Farı́as,Hugo Tiznado
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:48 (12): 17564-17575 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2022.03.025
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