Synergistic crucible design and thermal-flow management for enhanced 4-inch AlN single crystal PVT growth: a combined numerical and experimental investigation

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作者
Wenliang Li,Qian Liu,Jun Tan,G. He,Yingmin Wang,Zhenhua Sun,Baikui Li,Honglei Wu
出处
期刊:CrystEngComm [Royal Society of Chemistry]
卷期号:27 (20): 3219-3228
标识
DOI:10.1039/d5ce00214a
摘要

By optimizing the thermal field position, crucible microstructure, and thermal flow field coupling, a 4-inch aluminum nitride single crystal with excellent growth uniformity was successfully fabricated.
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