Synergistic crucible design and thermal-flow management for enhanced 4-inch AlN single crystal PVT growth: a combined numerical and experimental investigation

坩埚(大地测量学) 材料科学 热的 流量(数学) 晶体生长 单晶 微下拉 机械工程 冶金 机械 结晶学 化学 工程类 热力学 物理 计算化学
作者
Wenliang Li,Qian Liu,Jun Tan,G. He,Yingmin Wang,Zhenhua Sun,Baikui Li,Honglei Wu
出处
期刊:CrystEngComm [Royal Society of Chemistry]
卷期号:27 (20): 3219-3228
标识
DOI:10.1039/d5ce00214a
摘要

By optimizing the thermal field position, crucible microstructure, and thermal flow field coupling, a 4-inch aluminum nitride single crystal with excellent growth uniformity was successfully fabricated.
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