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作者
Yaonan Cheng,
Shenhua Jin,
Kezhi Qiao,
Shilong Zhou,
Jing Xue
出处
期刊:
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期:2024-07-17
卷期号:89: 438-450
被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2024.07.007
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