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Electrical Performance of Self-Assembly Applied to Die-to-Wafer Hybrid Bonding

模具（集成电路） 材料科学 薄脆饼 晶片键合 光电子学 电气工程 纳米技术 工程类
作者
Adèle Thiolon,Pierre Montméat,T. Enot,Alice Bond,Carine Ladner,Loïc Sanchez,Alain Campo,T. Magis,Floriane Baudin,S. Dominguez,Frank Fournel,Emilie Bourjot
链接
cea.hal.sciencedoi.org
标识
DOI：10.1109/estc60143.2024.10712061
摘要
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