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Internal gettering for germanium-doped Czochralski silicon: Treated by rapid-thermal-anneal based processing simulation

锗材料科学薄脆饼硅吸气剂兴奋剂光电子学制作成核化学医学病理有机化学替代医学

作者

Jiahe Chen,Deren Yang,Xiangyang Ma,Duanlin Que

出处

期刊：Materials Science And Engineering: B [Elsevier BV]
日期：2008-12-10 卷期号：159-160: 235-238 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.mseb.2008.10.061

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