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Characteristics of Cobalt Films Deposited by Using a Remote Plasma ALD Method with a CpCo(CO)2 Precursor

钴材料科学等离子体化学工程纳米技术物理冶金量子力学工程类

作者

Keun‐Woo Lee,Keunjun Kim,Hyeongtag Jeon,Youngjin Lee,Jeong Tae Kim,Seung-Jin Yeom

出处

期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2007-04-14 卷期号：50 (4): 1141-1141 被引量：9

标识

DOI：10.3938/jkps.50.1141

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