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Deep isotropic chemical etching (DICE) process for fabricating highly symmetric hemispherical silicon molds

掷骰子各向同性各向同性腐蚀蚀刻（微加工）硅材料科学过程（计算）光电子学纳米技术复合材料光学计算机科学物理几何学图层（电子）数学操作系统

作者

Calvin Mitchell Jones,Mustafa Mert Torunbalcı,Sunil A. Bhave

出处

期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering [IOP Publishing]
日期：2021-06-07 卷期号：31 (7): 075005-075005 被引量：1

链接

zenodo.orgdoi.org

标识

DOI：10.1088/1361-6439/ac0323

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