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Al-Induced Crystallization of Polycrystalline Silicon Thin Films Based on Solution Method

结晶 材料科学 多晶硅 微晶 硅 薄膜 纳米晶硅 光电子学 化学工程 非晶硅 纳米技术 薄膜晶体管 晶体硅 冶金 工程类 图层(电子)
作者
Shuo Wang,LUO Chong,Zhao Ying,Xiong Shao-Zhen
出处
期刊:Acta Physico-chimica Sinica [Peking University Press]
卷期号:24 (09): 1689-1693
标识
DOI:10.3866/pku.whxb20080928
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