Low temperature defect passivation technology for semiconductor electronic devices—supercritical fluids treatment process

钝化材料科学光电子学半导体薄脆饼晶体管半导体器件纳米技术图层（电子）电气工程工程类电压

作者

Ting‐Chang Chang,Po‐Hsun Chen,Chung‐Yung Lin,Chih‐Cheng Shih

出处

期刊：Materials Today Physics [Elsevier]
日期：2020-05-15 卷期号：14: 100225-100225 被引量：24

标识

DOI：10.1016/j.mtphys.2020.100225

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