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Tunable SiO2 to SiOxCyH films by ozone assisted chemical vapor deposition from tetraethylorthosilicate and hexamethyldisilazane mixtures

正硅酸乙酯 化学气相沉积 化学工程 沉积（地质） 碳纤维 蚀刻（微加工） 材料科学 碳膜 薄膜 化学 纳米技术 复合材料 图层（电子） 工程类 古生物学 生物 复合数 沉积物
作者
Konstantina Christina Topka,Babacar Diallo,Diane Samélor,R. Laloo,Daniel Sadowski,Cécile Genevois,Thierry Sauvage,François Senocq,Hugues Vergnes,Viviane Turq,Nadia Pellerin,Brigitte Caussat,Constantin Vahlas
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2020-12-17 卷期号：407: 126762-126762 被引量：12
链接
hal.sciencedoi.org
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2020.126762
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