Doped SnO2 thin films fabricated at low temperature by atomic layer deposition with a precise incorporation of niobium atoms

材料科学 原子层沉积 兴奋剂 图层(电子) 薄膜 沉积(地质) 光电子学 纳米技术 化学工程 冶金 工程类 古生物学 沉积物 生物
作者
Getaneh Diress Gesesse,Damien Coutancier,Mirella Al Katrib,Frédérique Donsanti,Muriel Bouttemy,Nathanaëlle Schneider
出处
期刊:Nanotechnology [IOP Publishing]
卷期号:35 (38): 385706-385706
标识
DOI:10.1088/1361-6528/ad5afd
摘要

Nb-doped SnO
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