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Influence of implantation and annealing temperatures on the irradiation damage in He2+ ion implanted 6H-SiC

退火（玻璃）辐照离子注入材料科学离子放射化学分析化学（期刊）冶金化学核物理学物理环境化学有机化学

作者

Hang Zang,Heng Yu,Tao Wang,Fang Liu,Chuanhao Chen,Peng Zhou,Tan Shi,Huan He,Wenbo Liu,Chaohui He

出处

期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier]
日期：2025-01-13 卷期号：560: 165611-165611 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.nimb.2025.165611

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