加速度计
压阻效应
微电子机械系统
谐振器
材料科学
光电子学
声学
电子工程
电气工程
计算机科学
工程类
物理
操作系统
作者
Chen Wang,Aojie Quan,Linlin Wang,Rui Amendoeira Esteves,Yuan Wang,Bernardo Pereira Madeira,Yangyang Guan,Xinyu Wu,Nadezda Kuznetsova,Milad Shojaeian,Pan Zhang,Pui‐In Mak,Michaël Kraft
标识
DOI：10.1109/mems58180.2024.10439523
摘要
sponsorship: This work was supported by This work was partially supported by Fonds Wetenschappelijk Onderzoek (FWO) grant. Chen Wang and Aojie Quan contribute equally. (Fonds Wetenschappelijk Onderzoek (FWO) grant)
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