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Deep learning-based detection of dislocation defects in 4H-SiC substrates via enhanced photoluminescence imaging
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作者
Lulu Yu,
Y. Qiu,
Heng Wang,
Zhenzhong Wang,
Zhili Hu
出处
期刊:
Diamond and Related Materials
[Elsevier BV]
日期:2025-08-15
卷期号:159: 112745-112745
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2025.112745
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