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The Marangoni convection and the oxygen concentration in Czochralski-grown silicon
作者
Yuesheng Xu,
Caichi Liu,
Haiyun Wang,
Qiuyan Hao
出处
期刊：
Journal of Crystal Growth
[Elsevier BV]
日期：2003-05-27
卷期号：254 (3-4): 298-304
被引量：5
标识
DOI：10.1016/s0022-0248(03)01169-2
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