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Influence of silicon content on the microstructure, mechanical and tribological properties of magnetron sputtered Ti–Mo–Si–N films

材料科学 微观结构 溅射沉积 无定形固体 硅 内容（测量理论） 溶解 断裂韧性 摩擦学 晶格常数 溅射 冶金 摩擦系数 分析化学（期刊） 复合材料 薄膜 化学工程 结晶学 纳米技术 化学 数学分析 数学 物理 光学 色谱法 衍射 工程类
作者
Junhua Xu,Hongbo Ju,Lihua Yu
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2014-08-21 卷期号：110: 47-53 被引量：56
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2014.08.010
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