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Nanoimprint Lithography: An Enabling Process for Nanofabrication

纳米光刻 纳米压印光刻 平版印刷术 纳米技术 过程（计算） 材料科学 下一代光刻 计算机科学 电子束光刻 抵抗 光电子学 制作 医学 病理 操作系统 替代医学 图层（电子）
作者
Weimin Zhou
出处
期刊：Springer eBooks [Springer Nature]
日期：2013-01-01 被引量：21
标识
DOI：10.1007/978-3-642-34428-2
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