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Centimeter-scale low-damage micromachining on single-crystal 4H–SiC substrates using a femtosecond laser with square-shaped Flat-Top focus spots

材料科学 表面微加工 激光器 表面粗糙度 飞秒 光学 抛光 表面光洁度 陶瓷 图层(电子) 光电子学 复合材料 制作 医学 替代医学 病理 物理
作者
Jiangyou Long,Qingfa Peng,Gaopan Chen,Yuliang Zhang,Xiaozhu Xie,Guoshun Pan,Xiaofeng Wang
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier]
卷期号:47 (16): 23134-23143 被引量:36
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2021.05.027
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