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Effect of sputtering power on surface topography of dc magnetron sputtered Ti thin films observed by AFM
作者
Yongzhong Jin,
Wei Wu,
Li Li,
Jian Chen,
Jingyu Zhang,
Youbing Zuo,
Jun Fu
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2008-12-25
卷期号：255 (8): 4673-4679
被引量：75
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2008.12.029
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