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作者
Huamao Lin,
J.T.M. Stevenson,
A.M. Gundlach,
Camelia Dunare,
A.J. Walton
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2008-02-02
卷期号：85 (5-6): 1059-1061
被引量：18
标识
DOI：10.1016/j.mee.2008.01.054
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