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作者
Valentin Léger,Thomas Bidaud,Stéphane Collin,G. Patriarche,C. Corbel,Laurent Rubaldo
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2023-07-18 卷期号：52 (11): 7054-7059
链接
hal.science hal.science hal.sciencedoi.org
标识
DOI：10.1007/s11664-023-10566-9
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