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Mechanical performance of high-entropy (AlCrNbSiTi)N films fabricated by high-power impulse magnetron sputtering over a wide compositional window

高功率脉冲磁控溅射 材料科学 高熵合金 微观结构 微晶 合金 溅射沉积 退火(玻璃) 溅射 复合材料 涂层 冶金 硬质合金 碳化物 薄膜 纳米技术
作者
Ching-Yin Lee,Peng-Hsi Chen,Su-Jien Lin,Jien‐Wei Yeh
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:49 (23): 38392-38397 被引量:6
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2023.09.119
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