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Material removal rate model for chemical–mechanical polishing of single-crystal SiC substrates using agglomerated diamond abrasive

磨料抛光化学机械平面化材料科学钻石泥浆复合材料单晶 Crystal（编程语言）基质（水族馆）冶金结晶学化学地质学程序设计语言海洋学计算机科学

作者

Pengfei Wu,Ning Liu,Xue Li,Yongwei Zhu

出处

期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier]
日期：2024-04-03 卷期号：88: 572-583 被引量：23

标识

DOI：10.1016/j.precisioneng.2024.04.002

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