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作者
Pengfei Wu,
Ning Liu,
Xue Li,
Yongwei Zhu
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2024-04-03
卷期号：88: 572-583
被引量：23
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2024.04.002
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