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Nanoporous ZnO structure prepared by HiPIMS sputtering for enhanced ozone gas detection

材料科学 纳米孔 高功率脉冲磁控溅射 溅射 臭氧 化学工程 纳米技术 溅射沉积 薄膜 有机化学 工程类 化学
作者
Yempati Nagarjuna,Yu‐Jen Hsiao,Sheng‐Chang Wang,Cheng-Ye Shao,Yu‐Chun Huang
出处
期刊:Materials today communications [Elsevier BV]
卷期号:35: 106024-106024 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.mtcomm.2023.106024

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