A reliability study of DRAM capacitors in chip for beyond 10 nm scaling

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作者

Jaeyoung Shin,Kyungwon Park,Hyungtak Kim,Kyung-Woo Lee,Namhyun Lee,Changhun Yun

出处

期刊：Microelectronics Journal [Elsevier BV]
日期：2025-10-28 卷期号：167: 106942-106942

标识

DOI：10.1016/j.mejo.2025.106942

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