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Characterization of flexible low-dielectric constant carbon-doped oxide (SiCOH) thin films under repeated mechanical bending stress

材料科学 电介质 复合材料 亚氧化物 化学气相沉积 等离子体增强化学气相沉积 分析化学（期刊） 氧化物 纳米技术 有机化学 化学 光电子学 冶金
作者
W. Wirth,Jacob Comeaux,Seonhee Jang
出处
期刊：Journal of Materials Science [Springer Science+Business Media]
日期：2022-11-27 卷期号：57 (46): 21411-21431 被引量：8
标识
DOI：10.1007/s10853-022-07987-y
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