Classifications of Dislocations in 4H-SiC Wafer by Confocal Laser Scanning Microscopy

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作者
Nilesh Chole,Ankit Patel,Mani Mittal,Praveen Saho,Meenakshi Asthania,Vivek Marandi,Alok Kumar,Biswanath Das,D. S. Rawal,Renuka Bokolia,O.P. Thakur
出处
期刊:Integrated Ferroelectrics [Taylor & Francis]
卷期号:241 (4-6): 360-367
标识
DOI:10.1080/10584587.2025.2482435
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