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Effect of Oxygen Concentration on the Properties of Mn1.56Co0.96Ni0.48O4±δ Thin Films Deposited by Radio Frequency Magnetron Sputtering

溅射沉积 材料科学 薄膜 氧气 高功率脉冲磁控溅射 无线电频率 溅射 腔磁控管 分析化学（期刊） 冶金 化学 纳米技术 环境化学 电信 计算机科学 有机化学
作者
Zhengqi Li,Lin Jiang,Yanqing Gao,Qinxi Qiu,Qiangguo Zhou,Niangjuan Yao,Wei Zhou,Zhiming Huang
出处
期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2025-04-01 卷期号：: 180374-180374
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2025.180374
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