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2D fin field-effect transistors integrated with epitaxial high-k gate oxide

材料科学 异质结 外延 光电子学 晶体管 鳍 电介质 氧化物 高-κ电介质 薄脆饼 栅氧化层 场效应晶体管 纳米技术 电气工程 电压 工程类 图层（电子） 复合材料 冶金
作者
Congwei Tan,Mengshi Yu,Junchuan Tang,Xiaoyin Gao,Yuling Yin,Yichi Zhang,Jingyue Wang,Xinyu Gao,Congcong Zhang,Xuehan Zhou,Liming Zheng,Hongtao Liu,Kaili Jiang,Feng Ding,Hailin Peng
出处
期刊：Nature [Nature Portfolio]
日期：2023-03-22 卷期号：616 (7955): 66-72 被引量：127
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41586-023-05797-z
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