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A model-based methodology for the analysis and design of atomic layer deposition processes—Part I: Mechanistic modelling of continuous flow reactors

作者

Anders Holmqvist,Tobias Törndahl,S. Stenström

出处

期刊：Chemical Engineering Science [Elsevier BV]
日期：2012-07-21 卷期号：81: 260-272 被引量：33

链接

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DOI：10.1016/j.ces.2012.07.015

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