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Plasma etching of submicron devices: in situ monitoring and control by multi-wavelength ellipsometry
作者
Helen Maynard,
N. Layadi,
J.T.C. Lee
出处
期刊:
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:1998-02-01
卷期号:313-314: 398-405
被引量:33
标识
DOI:10.1016/s0040-6090(97)00854-7
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