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Anisotropic material removal in ultra-precision micro grinding of single crystal 4H-SiC: Process signals and surface damage evolution
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作者
Xiaoyu Bao,
Xingyu Wang,
Wen Zheng,
Sheng Wang,
Qingliang Zhao,
Yong Lu
出处
期刊:
Tribology International
[Elsevier BV]
日期:2026-05-12
卷期号:222: 112168-112168
被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.triboint.2026.112168
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