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Fabrication of focused electron beam induced deposition tips for high-speed atomic force microscopy using benchtop scanning electron microscopy
制作
扫描电子显微镜
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分辨率（逻辑）
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纳米压痕
常规透射电子显微镜
阴极射线
光电子学
纳米光刻
作者
Motonori Imamura,
Atsushi Miyagi,
Alma P. Perrino,
Simon Scheuring
出处
期刊：
Nature Protocols
[Nature Portfolio]
日期：2026-05-12
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1038/s41596-026-01369-3
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