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Minimizing Contact Resistance and Flicker Noise in Micro Graphene Hall Sensors Using Persistent Carbene Modified Gold Electrodes

材料科学 石墨烯 电极 闪烁噪声 光电子学 噪音(视频) 接触电阻 纳米技术 计算机科学 图层(电子) 放大器 化学 人工智能 物理化学 图像(数学) 噪声系数 CMOS芯片
作者
Honglin Sun,Ting Huang,Md Masruck Alam,Jingwei Li,Dong Wook Jang,Tianle Wang,Haohan Chen,Yi‐Ping Ho,Zhaoli Gao
出处
期刊:ACS Applied Materials & Interfaces [American Chemical Society]
卷期号:16 (24): 31473-31479 被引量:7
标识
DOI:10.1021/acsami.4c05451
摘要

Scalable micro graphene Hall sensors (μGHSs) hold tremendous potential for highly sensitive and label-free biomagnetic sensing in physiological solutions. To enhance the performance of these devices, it is crucial to optimize frequency-dependent flicker noise to reduce the limit of detection (LOD), but it remains a great challenge due to the large contact resistance at the graphene-metal contact. Here we present a surface modification strategy employing persistent carbene on gold electrodes to reduce the contact resistivity by a factor of 25, greatly diminishing μGHS flicker noise by a factor of 1000 to 3.13 × 10-14 V2/Hz while simultaneously lowering the magnetic LOD SB1/2 to 1440 nT/Hz1/2 at 1 kHz under a 100 μA bias current. To the best of our knowledge, this represents the lowest SB1/2 reported for scalable μGHSs fabricated through wafer-scale photolithography. The reduction in contact noise is attributed to the π-π stacking interaction between the graphene and the benzene rings of persistent carbene, as well as the decrease in the work function of gold as confirmed by Kelvin Probe Force Microscopy. By incorporating a microcoil into the μGHS, we have demonstrated the real-time detection of superparamagnetic nanoparticles (SNPs), achieving a remarkable LOD of ∼528 μg/L. This advancement holds great potential for the label-free detection of magnetic biomarkers, e.g., ferritin, for the early diagnosis of diseases associated with iron overload, such as hereditary hemochromatosis (HHC).
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