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Design strategy and micromachining technology of AT-cut high-frequency quartz resonators: A review

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作者
Fangmeng Xu,Chunyan Yin,Jingyu Chen,Guangbin Dou,Litao Sun
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2025-03-22 卷期号：193: 109465-109465 被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.109465
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