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The impact of polymer compositional homogeneity on lithography and defects

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作者
Benjamin D. Naab,Jong Keun Park,Emad Aqad,Yinjie Cen,Suzanne M. Coley,A. Zacharias,Cheng Li,Li Cui,Conner Hoelzel,Kwang Mo Choi,Jason Behnke,Rochelle Rena,Sylvie Eckert,Stefan Alexandrescu,K. A. Niradha Sachinthani,Michael F. Finch,Yifei Wang,Adam C. Ladd,Angela DiAscro,Luxi Shen
标识
DOI：10.1117/12.3047886
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