SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Formation of SiO2 thin films through plasma- enhanced chemical vapor deposition using SiH4/Ar/N2O
化学气相沉积
薄膜
等离子体增强化学气相沉积
燃烧化学气相沉积
沉积（地质）
碳膜
等离子体处理
分析化学（期刊）
等离子体
材料科学
化学工程
化学
环境化学
纳米技术
地质学
沉积物
物理
工程类
量子力学
古生物学
作者
Jingjing Zhang,
Jingquan Guo,
Qiutong Zhao,
Lihui Yu,
Shujun Ye,
H. X. Yin,
Yeliang Wang
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：2024-04-27
卷期号：797: 140348-140348
被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2024.140348
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
science
发布了新的
文献求助
10
1秒前
英姑
的
应助
被
jsb
采纳，获得
10
2秒前
深情安青
上传了
应助文件
2秒前
赘婿
上传了
应助文件
2秒前
冷傲的太英
完成签到，获得积分
10
2秒前
修仙中
上传了
应助文件
3秒前
ZSH
发布了新的
文献求助
10
3秒前
李扒皮
完成签到，获得积分
10
3秒前
天天快乐
上传了
应助文件
3秒前
rain1664
完成签到，获得积分
10
3秒前
罗小新
发布了新的
文献求助
10
4秒前
wanci
的
应助
被
successful
采纳，获得
10
4秒前
令狐凝阳
完成签到，获得积分
10
4秒前
悲伤的流泪冬瓜
发布了新的
文献求助
10
5秒前
破军
发布了新的
文献求助
10
5秒前
科研通AI2S
上传了
应助文件
5秒前
只想睡觉
完成签到，获得积分
10
5秒前
做科研的小丸子
完成签到，获得积分
10
6秒前
子倾
发布了新的
文献求助
10
6秒前
马彦娟
发布了新的
文献求助
10
6秒前
zym
完成签到，获得积分
10
6秒前
炙热的芷卉
发布了新的
文献求助
10
7秒前
十二
上传了
应助文件
7秒前
兔兔
发布了新的
文献求助
10
8秒前
橙橙
完成签到，获得积分
10
9秒前
suluxulu
完成签到，获得积分
10
9秒前
英俊的铭
的
应助
被
xxxx
采纳，获得
10
9秒前
研友_VZG7GZ
的
应助
被
luyuran
采纳，获得
30
10秒前
小蘑菇
的
应助
被
有机物
采纳，获得
10
10秒前
wanci
的
应助
被
cjjjw
采纳，获得
10
10秒前
852
的
应助
被
尤铭
采纳，获得
10
10秒前
科研通AI2S
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
11秒前
坚定柳柳
发布了新的
文献求助
10
11秒前
可爱的函函
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
11秒前
归尘
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
11秒前
唠叨的大门
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
11秒前
鲜于灵竹
完成签到，获得积分
10
11秒前
深情安青
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
11秒前
xing_xing
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
20
11秒前
zzzzz
发布了新的
文献求助
10
12秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Navigating Normative Orders. Interdisciplinary Perspectives
800
Organizational Behavior
510
Management and the Arts
510
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
CLSI VET01S-2024 Performance Standards for Antimicrobial Disk and Dilution Susceptibility Tests for Bacteria Isolated From Animals (7th Ed)
500
A Case Study on Hotels as Noncongregate Emergency Living Accommodations for Returning Citizens
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7757918
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9304304
关于积分的说明
20279168
捐赠科研通
7341735
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3312082
关于科研通互助平台的介绍
2462766
邀请新用户注册赠送积分活动
2325901
今日热心研友
Theprisoners
10000
无极微光
279
5900
DW
474
3450
Nole
191
4118
dde
169
2670
Aurora
269
1220
null
124
1970
v0id
125
1820
xing_xing
98
2040
潇洒的惋清
114
1800
cdercder
145
1360
秋风
126
1490
aaaa
60
1847
学术文献互助
2430
aajhajkahna
125
1170
DOC_XIONG
89
1398
云天河
90
1265
arniu2008
1890
殷勤的紫槐
1700
乐空思
1640
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Theprisoners
无极微光
DW
Nole
dde
Aurora
null
v0id
xing_xing
潇洒的惋清
cdercder
秋风
aaaa
学术文献互助
aajhajkahna
DOC_XIONG
云天河
arniu2008
殷勤的紫槐
乐空思
皖公网安备34019202002308
