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Development of HfO2 PEALD Thin Films for the Conformal Coating of High Power Laser Optics
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作者
Adriana Szeghalmi,
Vivek Beladiya,
Shawon Alam,
Sven Schröder,
Sebastian Riese
链接
fraunhofer.de
doi.org
标识
DOI：10.1364/oic.2022.tc.2
摘要
Here, we discuss the development of HfO 2 PEALD thin films for laser applications. Antireflection coatings and dielectric mirrors for 355, 532 and 1064 nm wavelength and their laser damage resistance are presented.
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