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Low-temperature Silicon Oxynitridation Using a Hyper-thermal Neutral Beam (HNB)

热的 硅 材料科学 梁（结构） 光电子学 光学 物理 热力学
作者
Jong‐Sik Kim,Dae Chul Kim,Bong-Ju Lee,Suk Jae Yoo,Seong Eun Lee,Young Chun Park
出处
期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2011-05-13 卷期号：58 (5(2)): 1532-1535 被引量：4
标识
DOI：10.3938/jkps.58.1532
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