Single-component chemically amplified i-line molecular glass photoresist based on calix[4]resorcinarenes

光刻胶 化学 间苯二酚 磺酸 间苯二酚 高分子化学 衍生工具(金融) 安贝莱特 光化学 有机化学 分子 吸附 金融经济学 经济 图层(电子)
作者
Juan Liu,Zhengping Liu,Liyuan Wang,Haiyan Sun
出处
期刊:Chinese Science Bulletin [Springer Nature]
卷期号:59 (11): 1097-1103 被引量:11
标识
DOI:10.1007/s11434-014-0160-6
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