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Bulk FinFET Fin Height Control using Gas Cluster Ion Beam (GCIB)-Location Specific Processing (LSP)

材料科学星团（航天器）鳍梁（结构）光电子学离子离子束光学计算机科学物理复合材料量子力学程序设计语言

作者

Min Suk Kim,R. Ritzenthaler,J.-L. Everaert,Luis J. Fernández,K. Devriendt,Jae Wook Lee,A. Redolfi,S. Mertens,Elizabeth A. Burke,Naoto Horiguchi,Aaron Thean

标识

DOI：10.7567/ssdm.2013.d-2-2

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