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Influence of Different Post Deposition Treatments on the Passivation Quality and Interface Properties of Thermal ALD Al2O3 Capped by PECVD SiNx

钝化 等离子体增强化学气相沉积 原子层沉积 材料科学 沉积(地质) 光电子学 热的 化学气相沉积 纳米技术 薄膜 图层(电子) 沉积物 生物 物理 古生物学 气象学
作者
Martin Hermle,Jan Benick,Α. Richter,D. Schuldis
标识
DOI:10.4229/27theupvsec2012-2cv.6.51

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