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Influence of Different Post Deposition Treatments on the Passivation Quality and Interface Properties of Thermal ALD Al2O3 Capped by PECVD SiNx
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生物
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气象学
作者
Martin Hermle,
Jan Benick,
Α. Richter,
D. Schuldis
链接
eupvsec-proceedings.com
doi.org
标识
DOI：10.4229/27theupvsec2012-2cv.6.51
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