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Design, simulation, and characterization of a novel optical piezoelectric micromechanical ultrasonic transducer (OpMUT)

压电超声波传感器 PMUT公司传感器材料科学声学表征（材料科学）电容式微机械超声换能器电子工程光电子学工程类物理纳米技术

作者

Jia-Ling Lin,Shaowei Wu,Jinn-Tong Chiu,Ya‐Han Liu,Chih‐Hsien Huang

出处

期刊：IEEE Sensors Journal [IEEE Sensors Council]
日期：2025-01-01 卷期号：: 1-1

标识

DOI：10.1109/jsen.2025.3553480

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