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材料科学 光电探测器 光电子学 无定形固体 溅射沉积 溅射 高功率脉冲磁控溅射 腔磁控管 薄膜 纳米技术 有机化学 化学
作者
Yu Sun,Xiaolei Zhang,Baodong Sun,Xiaoyu Hu,Mingyi Zhang,Qiong Gao,Qicheng Zhou,Enshen Zhu,Zhilin Ye,Shiyong Gao
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2025-04-23 卷期号：194: 109578-109578 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.109578
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