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Defects distribution and evolution in selected-area helium ion implanted 4H–SiC

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作者

Ying Song,Zongwei Xu,Mathias Rommel,G. V. Astakhov,Gregor Hlawacek,Fengzhou Fang

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2023-12-12 卷期号：50 (5): 7691-7701 被引量：6

链接

fraunhofer.dedoi.org

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2023.12.096

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