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Ultrahigh-quality-factor micro- and nanomechanical resonators using dissipation dilution

消散谐振器质量（理念）材料科学纳米技术传感器 Q系数纳米力学微电子机械系统光电子学物理声学热力学量子力学原子力显微镜

作者

Nils J. Engelsen,Alberto Beccari,Tobias J. Kippenberg

出处

期刊：Nature Nanotechnology [Nature Portfolio]
日期：2024-03-05 卷期号：19 (6): 725-737 被引量：29

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标识

DOI：10.1038/s41565-023-01597-8

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