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Phase-Pure ε-Ga2O3 Thin Films on c-Plane Sapphire Substrates at Low Temperature by Plasma-Enhanced ALD: Growth, Characterization, and Interface Analysis

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作者
Jinteng Zhang,Xiaohong Zeng,Ying Wu,Na Lin,Qi Li,Wenxiang Mu,Bo Fu,Sunan Ding,Zhitai Jia
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-12-01 卷期号：: 114005-114005
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.114005
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