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Precursors for direct-write nanofabrication with electrons

纳米光刻 材料科学 纳米技术 电子 制作 物理 量子力学 医学 病理 替代医学
作者
Sven Barth,Michael Huth,Felix Jungwirth
出处
期刊：Journal of Materials Chemistry C [Royal Society of Chemistry]
日期：2020-01-01 卷期号：8 (45): 15884-15919 被引量：78
标识
DOI：10.1039/d0tc03689g
摘要
The influence of precursor's chemical composition and side reactions on materials obtained by direct nanoprinting using FEBID techniques is discussed.
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